精密机床加工精度的要求在日益提高。利用纳米技术，可以使机器在做切割、车床加工、抛光 和定位时达到微米级甚至埃级（0.1纳米）的精度。
  许多行业，如半导体和晶圆加工，光学和镜片制造以及非标准化材料加工都使用超高精度机器。
  高精度定位设备包括钻石车削机床、X-Y坐标机和CD计 量仪，通常用激光干涉法对材料定位，用以进行纳米指标检测。此外，如表面光度仪，轮廓度仪，粗糙度仪和圆度仪等设备需要提供亚微米级的测量。
  设备功能包含对光学玻璃，晶体，非铁金属，高分子材料和陶瓷材料的超精密车削和微磨。通常上述材料的表面需要加工到不需要或（需要少量）抛光就达到亚微米级的表面光滑度。例如CD, 隐形眼镜模具，光学镜片和激光镜等就是这样加工出来的。

 激光干涉仪的隔振应用

  精密机床加工的隔振应用